[딱 알려드림] 반도체 공장을 지탱하는 보이지 않는 기술
눈에 보이지 않는 먼지 하나 미세한 온도 차이만으로도
반도체 품질에 직접적인 영향을 줄 수 있다는 사실, 알고 계셨나요?
반도체 공장에는 두 가지 기술이 숨어 있습니다.
반도체 제조의 핵심인 초정밀 청정 공간 클린룸.
그리고 그 환경을 24시간 유지하는 유틸리티인데요.
먼저 클린룸, 어떤 공간일까요?
클린룸에서는 0.5μm, 머리카락 굵기의 약 1/100 크기의 먼지조차 관리 대상입니다.
이렇게 작은 입자까지 제어하려면 단순히 먼지를 없애는 것만으로는 부족한데요.
총 6가지 환경 조건을 동시에 맞춰 클린룸을 관리한다고 합니다.
그리고 이 조건들을 유지하기 위해 FAB은 복잡한 구조로 이루어져 있습니다.
FAB 건설 기술을 발전시켜 온 SK에코플랜트는
이 복잡한 구조의 FAB을 3개층으로 쌓아올린 세계 최초 3복층 FAB을 실현하고 있고,
기존 라인이 가동 중인 상태에서도 진동을 최소화하며 시공할 수 있는 독자 공법까지 개발했습니다.
클린룸이 실제로 작동하려면 무엇이 필요할까요? 전기, 물, 가스, 냉각, 공기 정화
이 모든 걸 24시간 멈추지 않고 공급하는 인프라 즉, 유틸리티가 필요합니다.
유틸리티는 크게 세 가지로 나눠볼 수 있는데요.
첫째, 공기를 다루는 시스템입니다.
클린룸에 들어가는 외부 공기의 온도와 습도를 맞추고 정화하기 위해 여러 설비가 동시에 돌아갑니다.
둘째, 물을 다루는 시스템입니다.
반도체 세정에 쓰이는 물은 불순물을 극한까지 제거한 초순수(UPW)라는 특수한 물을 사용하고
장비에서 발생하는 열을 식히는 냉각수(PCW)도 별도로 순환합니다.
공기, 물, 가스 등 모든 시스템이 24시간 멈추지 않으면서도
먼지 하나 허용하지 않는 클린룸, 단 한 순간도 멈출 수 없는 유틸리티.
결국 반도체 공장은 이 모든 기술을 하나의 체계로 엮어낼 수 있을 때 완성됩니다.
AI Infra Solution Provider, SK에코플랜트입니다.
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그리고 그 환경을 24시간 유지하는 유틸리티인데요.
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이렇게 작은 입자까지 제어하려면 단순히 먼지를 없애는 것만으로는 부족한데요.
총 6가지 환경 조건을 동시에 맞춰 클린룸을 관리한다고 합니다.
그리고 이 조건들을 유지하기 위해 FAB은 복잡한 구조로 이루어져 있습니다.
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이 복잡한 구조의 FAB을 3개층으로 쌓아올린 세계 최초 3복층 FAB을 실현하고 있고,
기존 라인이 가동 중인 상태에서도 진동을 최소화하며 시공할 수 있는 독자 공법까지 개발했습니다.
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이 모든 걸 24시간 멈추지 않고 공급하는 인프라 즉, 유틸리티가 필요합니다.
유틸리티는 크게 세 가지로 나눠볼 수 있는데요.
첫째, 공기를 다루는 시스템입니다.
클린룸에 들어가는 외부 공기의 온도와 습도를 맞추고 정화하기 위해 여러 설비가 동시에 돌아갑니다.
둘째, 물을 다루는 시스템입니다.
반도체 세정에 쓰이는 물은 불순물을 극한까지 제거한 초순수(UPW)라는 특수한 물을 사용하고
장비에서 발생하는 열을 식히는 냉각수(PCW)도 별도로 순환합니다.
공기, 물, 가스 등 모든 시스템이 24시간 멈추지 않으면서도
먼지 하나 허용하지 않는 클린룸, 단 한 순간도 멈출 수 없는 유틸리티.
결국 반도체 공장은 이 모든 기술을 하나의 체계로 엮어낼 수 있을 때 완성됩니다.
AI Infra Solution Provider, SK에코플랜트입니다.